ПРОЕКТЫ 2022 ГОДА

Широкоспектральный высокоапертурный микрообъектив

Уварова Алла Викторовна

Уварова Алла Викторовна

Руководитель

Аспирант, инженер ЦПО

Исполнители

Безуглый А. М.

Машарская А. А.

Никитин М. М.

Сошникова Е. Б.

Бахолдин Алексей Валентинович

Бахолдин Алексей Валентинович

Научный консультант

Доцент, кандидат технических наук, профессор ЦПО

ОПИСАНИЕ

Широкоспектральный высокоапертурный микрообъектив предназначен для ввода и вывода излучения в системах производственного и входного контроля тонких пленок, поверхностей и материалов. Микрообъектив представляет собой центрированную двухзеркальную систему. Оба зеркала являются светосильными (относительные отверстия 1⁄k=1⁄(0,478) и 1⁄k=1⁄(0,287) у зеркала 1 и зеркала 2, соответственно), и потому требующими точного изготовления. Объектив состоит из двух зеркал в оправах, корпуса и четырехлучевой растяжки.

ХАРАКТЕРИСТИКИ

Числовая апертура в пространстве предметов 0,82 А
Экранирование 0,35 h
Линейное поле зрения в пространстве предметов (2у) 0,1 мм
Рабочий спектральный диапазон 0,2…1 мКм
Размер пятна рассеяния осевой точки для λe=0,546 мкм 4 мкм

ПРЕИМУЩЕСТВА

ПРЕИМУЩЕСТВА

Контроль и исследование материалов осуществляются по методикам, требующим обеспечения широкого спектрального диапазона (0,21...1мкм) и высокого пространственного разрешения. Примерами таких методик является флуоресцентная микроскопия, эллипсометрия при больших углах падения и отражения излучения. Микрообъектив может быть установлен в существующие эллипсометры и металлографические микроскопы для улучшения их оптических характеристик:

  • по пространственному разрешению: благодаря высокой числовой апертуре, которая является основной характеристикой микрообъектива (она же позволяет передавать на объект и получать от объекта излучение под большими углами падения и отражения 2ω =108°);
  • по спектральным характеристикам: благодаря зеркальному типу спроектированной системы и выбранному отражательному покрытию.